Hochfrequenzplasmen

Nicht nur mit Hilfe eines Lichtbogens, sondern auch mit hochfrequenten elektromagnetischen Feldern lassen sich Gase so anregen, dass sie in den Plasmazustand übergehen.

Mit einem solchen Plasma sind verschiedene Beschichtungs- und Oberflächenbehandlungsprozesse auch auf wenig temperaturbeständigen Werkstücken, sowie auf sehr großen Flächen möglich, bei denen Lichtbogenplasma-Prozesse an ihre Grenzen stoßen.

In einen evakuierten Tank werden gezielt Prozessgase (z.B. Argon, oder Sauerstoff) eingebracht. Mit einem leistungsstarken Hochfrequenz-Generator und einem dem Werkstück angepassten Induktor wird das Gas so angeregt, dass es in den Plasmazustand übergeht.

In das Plasma eingebrachte Gase oder verdampfte Flüssigkeiten reagieren zu verschiedenen Stoffen, die als dünne Schicht auf dem Werkstück abgeschieden werden. So lassen sich z.B. flache Bleche, aber auch komplexe Werkstücke großflächig mit einer Korrosions-Schutzschicht aus SiO2 beschichten.

Hochfrequenzplasmen eignen sich ebenfalls zur großflächigen Aktivierung von Oberflächen für nachfolgende Lackierprozesse, oder zur Härtung von speziellen Lacken mit vom Plasma erzeugter UV-Strahlung.

Anwendungen: