Einführung in die Plasmaphysik

Die Hochleistungsplasma-Beschichtungsanlagen der Dr. Laure Plasmatechnologie GmbH wurden ursprünglich zur Simulation der enormen Belastungen, die auf das Hitzschutzsystem eines Raumfahrzeugs während des Wiedereintritts einwirken, entwickelt. Wesentliches Merkmal des Laure-Verfahrens ist die Flexibilität hinsichtlich des Leistungsbereiches der Generatoren, der beherrschbaren Massenströme sowie der zulässigen Gase und Druckniveaus. Je nach Wahl der Prozessparameter nähert es sich bekannten Beschichtungsverfahren wie PVD (physikalische Gasphasenabscheidung), CVD (chemische Gasphasenabscheidung), oder Plasmaspitzen an.

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Das Besondere an der neuen Technologie ist, dass fast beliebige Beschichtungsgrundsstoffe im Plasmabrenner in dampfförmigen Zustand versetzt und mit dem Plasmastrahl zum Werkstück transportiert werden. Für unterschiedlichste Anwendungen konnte gezeigt werden, dass auf Basis dieser Technologie Schichten höchster Qualität durch hohe Abscheideraten in sehr kurzen Produktionszeiten erzielt werden können.